半導體元器件潔凈車間建設方案示例

      半導體元器件潔凈車間建設方案簡要：

      電子光學行業如大規模集成電路（LSI）、超大規模集成電路（VLSI）等微電子（IC）工廠；液晶顯示器（LCD）、彩色薄膜液晶顯示器（TFT-LCD）、等離子顯示器（PDP）以及發光二極管（LED）、有機電致發光顯示器（OLED）、高分子有機電致發光顯示器（PLED）等光電子工廠都離不開潔凈的生產環境。生產所要求的環境不僅僅有：建筑圍護、結構、空氣、水、氣體以及溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環境。例如：建筑的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料；環境空氣的潔凈度、溫、濕度、壓力梯度、空氣中對工藝有害的化學分子；水和氣體的純度、粒子濃度、重金屬的含量以及環境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。

      ● 凈：電子光學行業，尤其是微電子（IC）前工序和光電子（TFT-LCD）前工序的潔凈室對環境潔凈度的要求越來越凈。例如，12吋園片超大規模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級（0.1μm）也就是每立方英尺空氣中≥0.1 μm的粒子數不能超過1顆,相當于ISO 1級。特別重要的是它對環境空氣提出了去除分子污染（SO2 , Nox , VOC ,NH3等）的要求。

      ● 精：電子行業生產工藝對環境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。還以上述微電子的光刻間為例：其溫度精度為±0.1℃，相對濕度的精度為±3%。

      ● 純：大規模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。例如：對高純水而言，不僅對其電阻率有要求，而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求，隨著生產工藝的發展，對其純度的要求也越來越高?？芍^純之又純。

      ● 嚴：電子工業生產不僅對環境的潔凈度，溫、濕度有嚴格的要求，同時對環境的聲（噪聲）、光（照度）、電（靜電）、磁（電磁場屏蔽）、振（微振）等都有嚴格的要求。尤其微電子生產，對環境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環境空氣中要嚴格控制例如鈉（Na）元素、碳（COx）元素、硫（SOx）元素、（NOx）元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水（淋自來水、淋純凈水）來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

      電子元器件是電子元件和電小型的機器、儀器的組成部分，其本身常由若干零件構成，可以在同類產品中通用；常指電器、無線電、儀表等工業的某些零件，如電容、晶體管、游絲、發條等子器件的總稱，常見的電阻、電容器、電位器、電子管、散熱器、機電元件、連接器、半導體分立器件、電聲器件、激光器件、電子顯示器件、光電器件等。下面我們就和大家講解一下半導體元器件的制造流程。

      半導體元器件潔凈車間生產工藝流程：

      下面是主要的生產制程：

      一、硅晶圓材料

      二、光學顯影

      三、蝕刻技術

      四、CVD化學氣相沉積

      五、物理氣相沉積（PVD）

      六、離子植入（IonImplant）

      七、化學機械研磨

      八、光罩檢測

      九、清洗技術

      十、晶片切割

      十一、焊線

      十二、封膠

      十三、剪切／成形

      十四、測試和檢驗

      詳細設計要點請聯系合潔科技半導體車間建設工程師

      潔凈車間工程示例如下：